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HEPA濾網或是單向氣流之覆蓋率

#1
Will 發表於 2020 / 05 / 12
您好,我想請問在class A的隔離手套箱(Isolator)中,HEPA濾網或是單向氣流(unidirectional airflow)設計,是否有依照操作區去規定其覆蓋率之相關規範? 謝謝您
管理員回覆

您好,

在A級區,包括Isolator、RABS、LAFH都應為單向氣流的設計。HEPA的覆蓋率應為100%,所以HEPA框架應越窄越好,以確保潔淨單向氣流的覆蓋率為100%


From TPDA
2020/5/15

 

 

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